AVP / RVP
The AVP/RVP vertical batch furnace delivers superior process results, the lowest cost of ownership (CoO)...
LPCVD/擴散
根據與 SPP Technologies, Ltd. 所簽訂的協議，SPTS 為其提供各種大批量直立型爐管。我們可以提供經原廠認證的全新再製造系統以及自訂系統轉換，來滿足特定工程設計需求。經過生產驗證的直立型爐管可以帶來出色的制程結果、高產量及最低成本 (CoO)
多元化的低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 擴散制程產品組合，包括：
- 濕式/乾式熱氧化
- LPCVD 氧化物 (HTO)
- 化學劑量及壓力控制的 LPCVD 氮化矽
- LPCVD TEOS
- 摻雜及未經摻雜的 LPCVD 多晶矽
- 低溫 LPCVD SiGe
- 100 至 1200°C 以上退火制程
LPCVD 服務的市場：
