Produktbeschreibung
Das fortschrittliche Spektrometriesystem Filmetrics F32 ist in einem 3U-Rack-Montage-Gehäuse mit halber Breite erhältlich und kann mit zusätzlichen Spektrometern bis zu vier verschiedene Stellen messen (bis zu zwei Stellen bei den -EXR- und -UVX-Versionen). Die F32-Software kann über digitale I/O oder die Host-Software gesteuert werden, um Messungen zu starten, zu stoppen oder zurückzusetzen. Messdaten können automatisch in die Host-Software für statistische Prozesskontrolle (SPC) exportiert werden.
Produktmerkmale
- Optionale Objektivbaugruppen können problemlos in bestehende Produktionsvorrichtungen integriert werden
- Die enthaltene Software und die USB-Konnektivität machen die Installation des F32 auf jedem PC mit Windows-Plattform einfach möglich.
- Die FILMeasure-Software, die mit über 100 Materialien vorinstalliert ist, ermöglicht schnelle Messungen von Einzel- und Mehrschichtstapeln
- 24 Stunden (Mo–Fr) Telefon-, E-Mail- und Online-Support durch hochqualifizierte Anwendungsingenieure
Anwendungen
- Messen Sie die Schichtdicke online in Echtzeit
- Messen Sie die Abscheidungsrate, optische Konstanten und Materialgleichmäßigkeit
Branchen
- Halbleiter
- Verbindungshalbleiter
