Wafer Chucks
Wafer Chucks
Wafer Chucks sind ein unverzichtbarer Bestandteil von Systemen zur Schichtdicken-Mapping. Sie bieten eine stabile und sichere Basis, in der Ihre Wafer mit gleichbleibender Genauigkeit gemessen werden können. Die Wafer Chucks von Filmetrics® sind so konzipiert, dass sie Wafer unterschiedlicher Größe aufnehmen können. Die Wafer Chucks sind für 2“, 3“, 4“, 5“, 6“, 200 mm, 300 mm und 450 mm Wafer ausgelegt. Die Wafer Chucks von den F50, F54 und F60 Messgeräten sind kompatibel mit vielen Wafergrößen und ermöglichen eine einfache Bedienung.
F50Chuck-100mm
F50 Chuck-Baugruppe für 2", 3" und 4" Wafer.
F50Chuck-200mm
F50 Chuck-Baugruppe für 4", 5", 6" und 200 mm Wafer.
F50Chuck-300mm
F50 Chuck-Baugruppe für 4", 5", 6", 200 mm und 300 mm Wafer.
F50Chuck-450mm
F50 Chuck-Baugruppe für 4", 5", 6", 200 mm, 300 mm und 450 mm Wafer.
F50Chuck-Custom
Für den F50 sind kundenspezifische Chucks erhältlich, gewöhnlich innerhalb von vier Wochen
F60Chuck-200mm
F60 Chuck-Baugruppe für 4", 5", 6" und 200 mm Wafer.
F60Chuck-300mm
F60 Chuck-Baugruppe für 4", 5", 6", 200 mm und 300 mm Wafer.