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제품

Filmetrics® 면저항 측정 시스템

Filmetrics® 벤치탑 및 자동 면저항 매핑 장비는 수십 년에 걸쳐 거듭된 저항 측정 기술 혁신과 축적된 전문 기술을 바탕으로 개발되었습니다.

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thin-film reflectometers

Filmetrics® 박막 두께 측정 시스템

The Filmetrics® 박막 반사계를 사용하면 벤치탑 및 생산 환경 모두에서 투명 박막의 두께 및 굴절률을 단 몇 초 만에 측정할 수 있습니다.

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Profilm3D Optical Profilometer

Filmetrics® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기

Filmetrics® Profilm3D® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기는 간섭계와 ZDot™ 측정 기술을 활용하여 R&D 및 생산 환경에서 3차원 단차 높이, 표면 거칠기 및 기타 표면 형상 측정을 위한 빠르고 비접촉 방식의 솔루션을 제공합니다.

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툴 및 소프트웨어

Filmetrics® 분광 반사율 계산기

널리 사용되는 당사의 반사율 계산기를 사용하여 최대 20개의 박막에서 박막 간섭으로 인한 반사율을 계산할 수 있습니다.

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Filmetrics® 굴절률 데이터베이스

일반 소재의 굴절률 지표는 KLA의 종합 데이터베이스를 검색하여 확인할 수 있습니다.

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Filmetrics® 제품 선택 가이드

적합한 Filmetrics 시스템을 선택하는 데 필요한 추가 안내는 당사의 제품 선택 가이드를 참조하십시오.

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서비스

서비스

KLA Instruments 서비스 그룹은 빠르고 응답성이 뛰어나며 유연한 글로벌 지원 네트워크를 제공하여 고객의 고유한 요구 사항을 충족하고 가동 시간을 극대화합니다.

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