Filmetrics® 박막 두께 측정 시스템
Filmetrics® 박막
두께 측정 시스템
Filmetrics® F-시리즈 반사계를 사용하면 단 몇 초 만에 고정밀 박막 두께 측정을 수행할 수 있습니다. 사용하기 쉽고 합리적인 가격의 이 두께 측정 도구는 지능형 소프트웨어와 광범위한 액세서리 및 구성 옵션과 결합할 수 있으며, 1nm에서 3mm까지의 박막 두께 측정에서 최고의 활용도를 제공합니다.
단일 스팟 두께 측정 시스템
마우스 클릭 한 번으로 박막 두께와 굴절률을 측정할 수 있는 벤치탑 시스템입니다. 다층 박막 스택 내에서도 1nm ~ 3mm 범위의 두께 측정이 가능합니다.
Filmetrics® F10-HC
평평한 표면과 곡면의 하드코트 및 김서림 방지 필름 두께와 굴절률을 측정합니다. 폴리카보네이트를 하드 코팅하는 자동차 및 기타 산업에서 인기가 있습니다.
마이크로 스팟 두께 측정 시스템
최소 1µm만큼 작은 지점의 측정이 필요한 경우에 사용되는 박막 두께 측정 장비입니다. 보유하고 계신 현미경을 사용하거나, 당사에서 전체 측정 시스템을 공급해 드릴 수도 있습니다.
Filmetrics® F40 박막 두께 측정 장비
현미경에 부착하여 패턴된 샘플, 곡면 샘플, 비균일 샘플에서 최소 1µm 크기의 지점까지 두께 및 굴절률을 정밀하게 측정할 수 있습니다.
자동화된 두께 매핑 시스템
거의 모든 시편 모양에 대한 박막 두께 및 굴절률 매핑을 위한 자동화 시스템입니다.
Filmetrics® F54-XY-200 및 F54-XY-300 박막 두께 측정 매핑 장비
최대 200mm x 200mm 또는 최대 300mm 라운드의 패턴화된 또는 비패턴 샘플의 박막 두께를 매핑할 수 있으며, 초당 2포인트의 빠른 속도입니다.
생산 환경을 위한 Filmetrics® F60-t 박막 두께 매핑 장비
생산 준비가 된 테이블톱 두께 매핑 시스템에는 온보드 반사율 표준, 노치 찾기, 연동 커버 등이 포함됩니다.
인라인 두께 모니터링 시스템
생산 과정에서 움직이는 박막의 두께를 모니터링 및 제어합니다. 다중 측정 위치에서 최대 100Hz의 샘플링 속도가 가능합니다.
Filmetrics® F32 인라인 두께 측정 시스템
최대 4개의 지점을 동시에 측정할 수 있는 기능으로 증착 속도, 박막 두께, 광학 상수 및 균일성을 실시간으로 측정합니다.
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장비
KLA Instruments는 업계 전문가, 학자 및 기타 혁신가들에게 신뢰할 수 있는 계측 및 결함 검사 솔루션을 제공하여 세계의 혁신적인 기술을 가능하게 하는 측정을 제공합니다.
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Filmetrics® 면저항 측정 시스템
Filmetrics® 벤치탑 및 자동 면저항 매핑 장비는 수십 년에 걸쳐 거듭된 저항 측정 기술 혁신과 축적된 전문 기술을 바탕으로 개발되었습니다.
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Filmetrics® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기
Filmetrics® Profilm3D® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기는 간섭계와 ZDot™ 측정 기술을 활용하여 R&D 및 생산 환경에서 3차원 단차 높이, 표면 거칠기 및 기타 표면 형상 측정을 위한 빠르고 비접촉 방식의 솔루션을 제공합니다.
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KLA Instruments는 업계 전문가, 학자 및 기타 혁신가들에게 신뢰할 수 있는 계측 및 결함 검사 솔루션을 제공하여 세계의 혁신적인 기술을 가능하게 하는 측정을 제공합니다.
Filmetrics® 면저항 측정 시스템
Filmetrics® 벤치탑 및 자동 면저항 매핑 장비는 수십 년에 걸쳐 거듭된 저항 측정 기술 혁신과 축적된 전문 기술을 바탕으로 개발되었습니다.
Filmetrics® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기
Filmetrics® Profilm3D® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기는 간섭계와 ZDot™ 측정 기술을 활용하여 R&D 및 생산 환경에서 3차원 단차 높이, 표면 거칠기 및 기타 표면 형상 측정을 위한 빠르고 비접촉 방식의 솔루션을 제공합니다.