Primaxx® Monarch300
The Primaxx® Monarch300 is a fully integrated, automated VHF etch tool designed to perform selective MEMS etch release via a controlled...
HF 釋放式蝕刻
Primaxx® 蝕刻系統
SPTS 提供最廣泛的乾燥 HF 氣相釋放式蝕刻產品，從適用於研發的實驗室系統到適合量產的多腔室叢集机台，無所不包。領先業界的 Primaxx® HF 氣相蝕刻釋放技術可用於移除氧化矽犧牲層，主要作用是釋放 MEMS 裝置中的矽微結構。
專屬的乾式工藝可以避免所釋放活動零件的黏滯作用，並且避免對精緻結構造成毀損 – 這些都是傳統濕式工藝技術的常見問題。
在縮減壓力並升高溫度的情況下，結合無水 HF 氣相及酒精氣相以提供廣泛、穩定的制程窗口，可以應對不同的氧化物及厚度，同時還能維持對 MEMS 設計中其他常見材料的高選擇比，包括外露的鋁/合金特徵，例如鏡子及焊墊。
Primaxx® Monarch 25
The Monarch25 is a 25-wafer batch process module designed for medium to high volume HF release etch production applications in either the...
Primaxx® Monarch 3
The Monarch 3 is a compact module includes a 3-wafer process chamber, and is designed for research laboratory and small volume production...
Primaxx® uEtch
SPTS's uEtch is a single-wafer system specifically designed for university and small research laboratories. Fully integrated,...