Primaxx® Monarch300
The Primaxx® Monarch300 is a fully integrated, automated VHF etch tool designed to perform selective MEMS etch release via a controlled...
HF 박리 식각
Primaxx® 식각 시스템
SPTS는 연구 및 개발용 연구실 시스템부터 대량 생산을 위한 멀티 챔버 클러스터 도구에 이르는 가장 폭넓은 범위의 건식 HF 증기 박리 제품을 제공합니다. 업계 최고의 Primaxx® HF 증기 식각 박리 기술은 주로 MEMS 소자의 실리콘 미세 구조물을 박리하기 위해 희생 실리콘 산화막을 제거하는 데 사용됩니다.
당사의 독점적 건식 프로세스는 기존의 습식 처리 기술에서 흔하게 관찰되던 문제인 박리된 움직이는 부품의 점착성과 섬세한 구조에 대한 손상을 방지합니다.
감압 및 고온 상태의 무수 HF 증기와 알코올 증기를 결합하면 미러 및 본드 패드와 같은 노출된 알루미늄/합금 형상을 포함한 MEMS 디자인에서 발견되는 기타 일반적인 소재에 대한 높은 선택성을 유지하면서 다양한 산화물 구성 요소와 두께를 처리할 수 있는 폭넓고 안정적인 프로세스 윈도우를 제공합니다.
Primaxx® Monarch 25
The Monarch25 is a 25-wafer batch process module designed for medium to high volume HF release etch production applications in either the...
Primaxx® Monarch 3
The Monarch 3 is a compact module includes a 3-wafer process chamber, and is designed for research laboratory and small volume production...
Primaxx® uEtch
SPTS's uEtch is a single-wafer system specifically designed for university and small research laboratories. Fully integrated,...