LPCVD/확산
SPTS는 SPP Technologies, Ltd.와의 계약에 따라 다양한 대형 일괄 수직로를 제공하고 있습니다. 당사는 특정한 엔지니어링 요구 사항을...
Thermal Products
SPP Technologies Ltd(SPT)와의 합의 하에 SPTS는 큰 사이즈의 Batch를 가진 수직형 Furnaces(LPCVD) 그리고 APCVD systems을 제공 합니다. SPTS는 새로운 Furnaces 그리고 각 Factory에 인증에 적합하게 새롭게 제작된 Furnaces 또한 제공 가능 하며 각 고객의 System을 명확한 Engineering requirements에 맞게 전환 또한 가능 합니다. 수직형 Furnaces는 우수한 결과, 높은 생산력 그리고 Cost of ownership(CoO)이 양산에서 입증 되었습니다.
APCVD 제품 라인은 특허 받은 WJ (Watkins Johnson) 선형 인젝터 기술을 기반으로 하여 정확하고 반복적으로 일시적인 필름 특성이 없거나 Wafer 전체에 균일한 갭을 가진 Doped 또는 Undoped된 증착이 가능 합니다. Factory에서 인증 된 재생산 APCVD 시스템 (WJ-999 / WJ1000 / WJ1500 모델 기반) 만 사용할 수 있습니다